[아이티비즈 박채균 기자] 반도체 파면 위상 이미징(WFPI) 계측 분야 기업인 우프틱스는 반도체 웨이퍼의 형상과 기하구조를 나노미터 이하의 분해능으로 극도로 정밀하면서도 초고속으로 측정할 수 있는 페멧(Phemet) 계측 시스템을 새롭게 출시했다고 20일 밝혔다.
우프틱스는 새로운 페멧 시스템을 11월 18일부터 21일까지 독일 뮌헨에서 열리는 세미콘 유로파(SEMICON Europa)에서 선보인다.
완전 자동화된 페멧 계측 시스템은 전체 실리콘 웨이퍼를 단일 이미지로 측정하여 웨이퍼의 형상과 나노토포그래피(nanotopography)는 물론 휨, 뒤틀림, 기타 맞춤형 파라미터들을 포착한다. 이 시스템은 블랭크, 패턴화 또는 본딩된 웨이퍼를 측정할 수 있는 다목적 계측장비이다. 페멧은 소음이 적고, 진동에 대한 내성을 갖추고 있어 측정의 정확도를 향상시킨다. 팹 운용 및 수율을 담당하는 엔지니어는 이 시스템의 원시 데이터를 활용해 정보의 이력을 추적함으로써 오버레이 오차 및 기타 결함의 원인을 정확히 파악하고 수율을 개선할 수 있다.
우프틱스는 페멧에 독자적인 WFPI 기술을 적용하여 웨이퍼의 빛 분포를 포착하고 자체 알고리즘을 사용하여 위상 맵을 구축한다. WFPI 기술은 웨이퍼의 전체 지형도와 뒤틀림을 포함한 시료의 상세 정보를 담은 서브나노미터 분해능의 파면 위상 맵을 신속하게 획득할 수 있으며, 4,700 x 4,700 픽셀의 초고분해능을 제공한다.
우프틱스의 호세 마누엘 라모스 CEO는 “반도체 업계가 점점 더 발전해 나가고, 특히 나노미터 단위의 초소형 크기와 새로운 집적 방식을 적용하여 보다 우수한 성능과 더 작은 크기, 그리고 훨씬 더 복잡한 설계 구조를 갖춘 디바이스 개발이 이어지고 있는 상황에서, 페멧은 양산 환경에서 보다 향상된 공정 제어에 대한 업계의 증가하는 요구를 해결한다”고 말했다.
이어 그는 “단일 이미지에서 서브나노미터 분해능으로 1,600만 개 이상의 데이터 포인트를 초고속으로 포착하는 페멧 시스템의 능력은 반도체 계측 분야에 있어서 새로운 기준을 제시한다"며 "이 시스템은 하이브리드 본딩, 후면 전원 공급 로직 아키텍처, 차세대 3D NAND 및 고대역폭 메모리(HBM)의 대규모 인라인 측정에 특히 유용하다”고 설명했다.
