새로운 울트라 트랙 장비 출시
[아이티비즈 박채균 기자] ACM리서치는 새로운 울트라 트랙(Ultra Track) 장비를 출시하면서 코터·디벨로퍼 트랙 시장에 진출한다고 25일 밝혔다.
ACM은 세정, 코팅 및 개발 시스템에 대한 전문 지식과 기술력을 바탕으로 이 새로운 장비 분야에 진출하게 됐다. ACM은 2013년 자사의 첫번째 캡슐화 코팅 장비 및 현상 장비를 개발하여 2014년에 고객에게 인도한 바 있다. ACM은 향후 몇 주 안에 중국 내 고객에게 자사 최초의 ArF 공정 코터·디벨로퍼 트랙 장비를 납품하고, 2023년에는 i-line 모델 장비를 출시할 예정이다. ACM은 KrF 모델 장비에 대한 연구개발에도 착수했다.
ACM의 데이비드 왕 CEO겸 사장은 "소프트웨어 및 로봇 기술에 대한 ACM의 핵심 경쟁력과 ACM의 검증된 코터·디벨로퍼 장비 성능 및 독창적인 새로운 아키텍처가 결합돼 경쟁력 있는 제품 및 서비스로 트랙 시장에 성공적으로 진출할 수 있었다"며 "이번 신제품 출시는 현재와 미래의 프런트엔드 리소그래피 공정을 지원하기 위한 첫번째 관문으로 기록될 것이다"고 말했다.
저작권자 © 아이티비즈 무단전재 및 재배포 금지
