[아이티비즈 김문구 기자] SK하이닉스는 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다고 3일 밝혔다.
최우수상은 부산대 이호준 교수가, 우수상은 울산과학기술원 노삼혁 교수, 장려상은 이화여대 박찬혁 교수, 연세대 노원우 교수, 성균관대 전정훈 교수가 받는다.
이중 부산대 이호준 교수는 ‘이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치’ 특허로 최우수상을 수상했다. 이 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있어, 기존 대비 플라즈마 효율을 향상시키고, 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선해 비용을 절감하는 장점이 있어 기술적으로 높은 평가를 받았다.
SK하이닉스는 산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별해 연구자의 사기를 북돋우고 개발을 장려하기 위해 2013년부터 매년 포상식을 열고 있다.
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