[아이티비즈 박채균 기자] ACM리서치가 건식 공정 애플리케이션을 위해 개발된 첫번째 장비 ‘울트라 퍼니스(Ultra Furnace)’를 발표했다.
울트라 퍼니스는 기본적으로 LPCVD(low-pressure chemical vapor deposition)에 높은 성능을 제공하도록 최적화되었으며, 동일한 플랫폼을 이용해 산화공정, 어닐링(열처리 공정)을 비롯해 ALD 공정에도 적용될 수 있다. 이번 개발은 중국과 한국에 위치한 ACM R&D팀간의 2년간의 협업의 성과로 이루어졌다.
울트라 퍼니스 시스템은 기본적으로 LPCVD 공정을 목표로 개발되었지만, 몇 가지 구성 요소와 레이아웃만 변경하면 다른 애플리케이션에도 적용 가능하다. 하드웨어 구성의 약 85%가 그대로 유지되기 때문에 새로운 애플리케이션 적용을 위해 프로그램을 효율적으로 변경할 수 있다.
ACM리서치는 울트라 퍼니스 공급과 관련해 우선 중국 내 고객을 목표로 하고, 이후 한국과 대만으로 확대해 나갈 계획이다. ACM은 2020년 초 중국에 있는 주요 로직 제조업체의 제조 팹에 첫번째 울트라 퍼니스 장비를 공급했다. LPCVD를 대상으로 한 이 장비는 생산 팹에 설치되어 인증을 시작했다.
ACM리서치의 데이비드 왕 CEO는 “첨단 기술 노드는 장비 공급업체들에게 혁신이 필요한 지속적인 과제를 제시한다. 이러한 요구들이 있는 환경은 ACM에 상당한 기회의 장이 되고 있다"며 “지속적인 혁신은 바로 ACM의 DNA에 있다. 우리 기술을 통해 이점을 누릴 수 있는 시장의 니즈를 확인함으로써 새로운 시장 영역으로 사업을 더욱 확장하게 됐다. 기존에 구축된 습식 공정 장비 포트폴리오에 울트라 퍼니스를 추가하고 고객사의 첨단 제품에 필요한 통합 솔루션을 제공함으로써ACM은 새로운 기회를 더욱 넓혀 나가고 있다”고 설명했다.
ACM리서치코리아의 김영율 대표는 "울트라 퍼니스 제품은 차별화된 기술 개발을 위한 중국과 한국의 우수한 전문가들이 협업한 결실"이라며 "한국의 ACM 팀은 세계적인 상하이 팀의 역량을 보완하고, 시장 진출 시간을 앞당기며, 국내 고객들에게 뛰어난 기술 지원을 제공하기 위해 설립됐다"고 밝혔다.
