[아이티비즈 김문구 기자] 인테그리스는 한국기술센터에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 도입했다고 16일 발표했다.
인테그리스 한국기술센터는 반도체 필터 테스트, 첨단 증착 소재, 표면 처리 및 집적에 대한 연구 장비 및 전문가를 갖추고 있는 연구 시설이다.
CMP 슬러리 필터 테스트는 반도체 공정에 오염물질을 제어하는 인테그리스 ‘클린 케미컬 딜리버리 솔루션’의 핵심 구성 요소로서 첨단 노드와 핵심 반도체 공정의 높은 수율, 신뢰성 및 성능 요구를 충족하는 데 중요한 역할을 한다. 칩 디자인 아키텍처가 점점 더 복잡해지고 아주 작은 오염 물질에도 반도체 민감도가 높아지면서 반도체 공정의 오염 물질 제어에 대한 수요도 증가하고 있기 때문이다. 인테그리스는 이번 한국기술센터 확장을 통해 반도체 공정에서 사용되는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트 및 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 되었다.
한국기술센터는 CMP 슬러리 테스트 스탠드와 파티클 카운터 장비를 갖춤으로써 국내 주요 벌크 슬러리 제조사 및 종합 반도체 업체(IDM) 고객사와 함께 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했다. 이 결과 인테그리스는 고객사 공정에 가장 적합한 CMP 슬러리 여과 솔루션을 제공하고, 고객은 신기술에 도입할 제품 선정 시간을 단축시킬 수 있게 되었다. 또한 한국기술센터의 전문가가 보유한 연구 지식과 노하우를 통해서 고객이 더 높은 수준의 미세오염 제어를 달성하도록 지원하고 있다.
인테그리스의 미세오염 제어 부문 수석부사장인 클린트 헤리스는 "최근 고객들은 4차 산업혁명으로 인한 인공지능, 자율주행, 블록체인, IoT 등 늘어나는 메모리 칩 수요를 충족시키고자 노력하고 있다”며, "인테그리스는 한국기술센터에 지속적으로 투자를 진행하고, 인테그리스 글로벌 기술센터와의 협업을 통해 고객이 겪고 있는 반도체 수율, 신뢰성 및 성능에 관련된 중요 과제를 해결할 수 있도록 지원함으로써 한국 고객의 선택적 파트너로 자리매김하고 있다"고 말했다.
